CG6300是一款高解析度的FEB测量装置（CD-SEM），通过优化电子光学系统，显著提升了分辨率和测量重现性，同时增强了图像画质。该设备能有效测量3D-NAND、DRAM工程中的深沟槽及洞底尺寸，并具备高对比度检测功能。其电子束扫描速度是前代机型的两倍，有助于 ...