本文创新性地采用偏置石英晶体微天平（QCM）技术，首次实现了高功率脉冲磁控溅射（HiPIMS）过程中钛中性粒子、钛离子和氩离子通量的同步测量。通过对比两种靶材几何形状和电源发生器，研究发现靶型、工作压力（0.6-3.0 Pa）和发生器设计显著影响粒子通量 ...