UNIXX HTe20型热板是一款桌面型半自动烘焙系统，适用于晶圆单面烘烤，具备预烘烤、前烘、底胶涂覆及后烘烤等功能。该设备具有最高300°C的温度控制能力，并通过电子驱动升降pin实现程序控制支撑pin的升降。热板通过真空固定晶圆，集成排烟装置并支持N2吹扫等 ...